二手 NANOMETRICS NanoSpec 3000 #9187358 待售
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ID: 9187358
晶圓大小: 3"-6"
優質的: 2006
Film thickness measurement system, 3"-6"
With IRVINE Ultrastation 3.B autoloader
Solid stage linear diode array detector
(15) Standard film types
Measurement time: 0.25 s to 4 s per site
Data management:
Statistical data analysis
Data export (ASCII)
Hardware configuration:
Optics: 10x
Spot size: 25 μm
Computer: 333 MHz PC With 3.2 G hard dive, 64 RAM
Performance:
Film: (3) Layers
Film thickness range: 250 A to 35 µm
Wavelength range: 480-800 nm
Reproducibility: <2 A
Electrical power:
117±5% VAC, 50/60 Hz, 5 A
230 V, 50/60 Hz, 2.5 A
2006 vintage.
NANOMETRICS NanoSpec 3000是一種面罩和晶圓檢查設備,旨在滿足業界最嚴格的要求。它具有高速、高分辨率的數字成像系統和先進的專有工具套件,專為高精度和可重復性檢查掩模和晶片而量身定制。該設備先進的光學和機械組件可滿足各種關鍵成像需求。它具有可變變焦功能和高反射率五棱鏡成像鏡的對角線光學目標,確保了最佳的圖像捕獲速度和可重復性。NanoSpec 3000還采用了數字電動XY-Knife激光自動對焦機,其設計目的是在晶圓或掩模的所有區域提供穩定的動態聚焦。NANOMETRICS NanoSpec 3000還包括擴展工具用途的一系列功能,例如掩碼分析工具。這是為了在晶圓製造過程中,精確地將蒙版與原始設計作比較而設計的。它使用先進的算法快速準確地執行掩碼參數提取,以校正光學和幾何失真。該資產還提供了一個可選的幾何失真校正算法,允許用戶考慮在光掩模制造過程中引入的像差。這是使用專有的參數陣列來實現的,以確保圖像與原始設計保持完全一致。此外,NanoSpec 3000還提供了一系列數據采集選項,包括Nanometer®數字成像模型。該設備結合了高分辨率、高速圖像采集系統和一套先進的數據分析和圖像處理工具。它旨在使用戶能夠快速輕松地查看、比較和分析NANOMETRICS NanoSpec 3000生成的數據。NanoSpec 3000還提供了廣泛的可選附件,如自動晶片處理單元、魯棒片識別機和功能強大的可視化工具。所有這些功能使NANOMETRICS NanoSpec 3000成為滿足半導體行業苛刻的掩模和晶圓檢測需求的理想選擇。
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