二手 NANOMETRICS NanoSpec 3000 #9220802 待售
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ID: 9220802
晶圓大小: 3"-6"
優質的: 2001
Film thickness measurement system, 3"-6"
Solid stage linear diode array detector
(15) Standard film types
Measurement time: 0.25 s to 4 s / site
Data management:
Statistical data analysis
Data export (ASCII)
Hardware configuration:
Optics: 10x
Spot size: 25 μm
Computer: 333 MHz PC With 3.2 G hard dive, 64 RAM
Performance:
Film: (3) Layers
Film thickness range: 250 A to 35 µm
Wavelength range: 480-800 nm
Reproducibility: <2 A
Electrical power:
Lamphouse: 50 W
117±5% VAC, 50/60 Hz, 5 A
230 V, 50/60 Hz, 2.5 A
2001 vintage.
NANOMETRICS NanoSpec 3000是一種高性能的掩模和晶圓檢測設備,它結合了先進的技術來提供高質量的成像和各種各樣的缺陷檢測功能。NanoSpec 3000利用四個通道收集各種高分辨率圖像,利用CMOS技術和高端光學設備在分辨率和對比度方面均表現出色。這四個通道可用於圖樣檢查,近紅外(NIR)用於CD測量和覆蓋檢查,紫色(Vis)用於2D邊緣和晶圓形狀掃描,UV用於3D地形分析。這些通道協同工作,為用戶提供所拍攝圖像和存在缺陷的全面信息。該系統包括一個集成的全場搜索引擎,有助於加快檢查時間,使排便圖像的趨勢更加明顯。NANOMETRICS NanoSpec 3000還包括大量的樣品掩碼和晶片庫,允許快速設置和比較,以及高性能缺陷管理器,用於將潛在缺陷與預期的設備參數進行比較,為用戶提供有價值的故障信息。NanoSpec 3000還具有先進的自動化功能,包括多級晶片保持、360度晶片掃描和高精度針頭對準。通過這些高級功能,NANOMETRICS NanoSpec 3000即使在不斷變化的生產條件下也能夠提供快速、準確和可重復的檢查。此外,該單元還配備了高級軟件套件,允許用戶控制整個工作流,編輯測量,並對測試圖像和數據進行分析。為確保可靠性,NanoSpec 3000針對各種晶圓基板和厚度進行了優化,並且該機器的設計符合所有適用的安全標準。憑借可靠的性能和一致的精度,用戶可以依靠NANOMETRICS NanoSpec 3000獲得卓越的晶圓和掩模檢查結果。
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