二手 NANOMETRICS NanoSpec 3000 #9386854 待售
網址複製成功!
單擊可縮放
ID: 9386854
晶圓大小: 3"-6"
優質的: 2001
Film thickness measurement system, 3"-6"
Solid stage linear diode array detector
(15) Standard film types
Measurement time: 0.25 sec to 4 sec
Statistical data analysis
Data export (ASCII)
Optics: 10x
Spot size: 25 μm
Computer: 333 MHz
Hard dive: 3.2 G
RAM: 64GB
Film: (3) Layers
Film thickness range: 250 A to 35 µm
Wavelength range: 480-800 nm
Reproducibility: <2 A
Lamphouse: 50 W
Power supply:
117±5% VAC, 50/60 Hz, 5 A
230 V, 50/60 Hz, 2.5 A
2001 vintage.
NANOMETRICS NanoSpec 3000掩模和晶片檢測設備是一種先進的高分辨率檢測系統,旨在準確評估掩模和晶片上的特征尺寸和模具特性。它被用於新產品的研發,以及在集成電路的生產過程中。NanoSpec 3000具有基於空氣軸承的高分辨率圖像采集和信號處理單元,旨在研究掩模和晶片上的亞微米結構。該機器包括一個自動化的視覺工具,可以快速分析和成像面積從幾微米到幾百微米的大小。此外,它還可以從多種角度捕捉圖像,包括75°、60°和45°,為用戶提供所檢查對象的完整視覺圖像。與其他檢查系統不同,NANOMETRICS NanoSpec 3000還具有精確的視覺位移級,可以在x、y和z方向移動樣品,從而可以進行精確的測量。這允許用戶手動調整和提取精確的測量數據,以及分析整個模具的任何不規則特征。該資產還具有進行無損晶片測試和分析的能力。使用實時成像和多個感興趣的區域選擇,用戶可以快速訪問和查看各種晶圓結構和組件上的數據。此過程可幫助評估正在測試的晶片上的任何局部缺陷和/或像差的完整性,而不會中斷設計。NanoSpec 3000還具有高速實時處理模型,用於使用數字光學方法分析關鍵尺寸(CD)。此外,用戶還可以利用光發射顯微鏡獲取ICs的地下圖像,或利用光譜測量來分析顯示參數和測試由薄膜或工藝參數引起的光譜變化。最後,掩模和晶片檢查設備還將生成測試期間生成的數據報告。這有助於過程故障排除和提高生產過程中的總體產量。綜上所述,NANOMETRICS NanoSpec 3000是一個功能強大的檢查系統,能夠對掩碼和晶片進行完整的可視化分析。它包括自動化視覺單元、精確視覺位移階段、無損晶片測試和分析以及高速實時處理機等功能。所有這些功能的結合使NanoSpec 3000成為準確評估掩模和晶片上的特征尺寸和模具特性的理想選擇。
還沒有評論