二手 NANOMETRICS NanoSpec 4000 #6696 待售
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ID: 6696
System
Head assy:
Photomultiplier tube
Wavelength gears
Voltage regulator PCB
Realign head optics
Computer assy: CS-9
Main power supply
RAM/ROM PCB
R&R all PCB's
PC computer:
NANO 4000
Microscope assy:
R&R microscope stand and stage assy with focusblock
Stage addy with 6" capability
Microscope lamp
Optics 5x, 10x, and 50x (15x for UV)
Color monitor with keyboard
Optional:
8" wafer capability
Photomultiplier tube
Standard film type measured: / Typical range: / Typical repeatability:
Single layer films visible UV: / 500-50.000A, 25-500* / 2A
Triple layer films consult factory: / - / -
Single layer thick films visible: / 4 - 75 micron* / 1%
Double layer thick films consult factory: / - / -
Reflectance visible UV: / 400-850 run, 200>400nm / 0.4%, 0.2%
Oxide on poty UV: / 150-10.000A / 2A
Oxide on metal visible UV: / 3,000-20,000*, 500-5,000A / 3A, 3A
Double layer films visible:
Top layer / 100-30.000A / 2A
Bottom layer / 100-10.000X / 8A.
NANOMETRICS NanoSpec 4000是一款功能強大的掩模和晶圓檢測設備,旨在全面覆蓋您的半導體生產過程。利用先進的光學成像技術，該平臺提供了納米精度和可重復性，使晶圓和掩模檢測具有無與倫比的精度和速度。該系統能夠檢查尺寸從2微米到2毫米不等的設備，並且可以進行編程以檢測和測量尺寸小於10納米的特征。NanoSpec 4000的核心配備了自動掩碼和晶片檢查子系統,該子系統使用模式識別算法檢查單個層的布局,以比較所需層與實際層。該單元能夠以極高的精度和可重復性檢測最小特征大小,其自動化光學系統允許快速、高精度的圖像處理,以便僅選擇性地評估所需的圖樣區域。NANOMETRICS NanoSpec 4000還提供了高級測量功能,該平臺能夠捕獲、存儲、分析和解釋多個表面地形參數。利用納米精度，該機器能夠產生高度精確的表面測量、最小/最大值和表面粗糙度可能性。此優勢擴展到垂直和水平測量,可幫助制造商準確測量和診斷晶圓或掩模設計中出現的任何問題。先進的圖像校正和圖像分析功能可實現掩模和晶片的精確對齊,而真正的色彩亮度可確保輸出的圖像具有明亮而準確的顏色。提供綜合數據輸入、硬件/軟件測試編程和校準功能,以及一系列專業分析和審查工具。NanoSpec 4000旨在滿足當今高精度制造環境的質量控制和檢驗需求。其無與倫比的精確度和可重復性組合,再加上先進的成像和測量功能,為確保半導體生產以最高效率運行提供了必要的保證。
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