二手 NANOMETRICS NanoSpec 4150 #9105594 待售

NANOMETRICS NanoSpec 4150是一種微檢驗技術，結合了先進的光學和高分辨率的彩色數碼相機，使半導體行業中的蒙版和晶圓都能被檢驗。該工具提供了非常詳細的缺陷圖像,並為特定缺陷區域提供了工具設置,以便進行尺寸評估。NANOMETRICS NanoSpec平臺由高分辨率3 CCD相機和LED光源組成，提供出色的圖像對比度和分辨率。相機允許晶片和口罩同時以同樣的放大倍率進行檢查，提供準確的缺陷信息。Multi-Point Image Analyzer （MPIA）技術利用空間采樣算法檢測和測量諸如凹坑、突出晶粒、邊緣或異物等微觀缺陷，可根據大小和形狀快速識別和分類。NanoSpec 4150設備高度可靠,能夠對納米級缺陷進行極其精確的測量和評估。其精密的計量系統執行12.5 μ m x 6.2 μ m步長,能夠集成最嚴格的測試設計要求。高度自動化的過程可確保快速高效地獲取準確的數據。NANOMETRICS NanoSpec 4150機組吞吐量高；即使在極具挑戰性的應用中，它也能每秒獲取數千張圖像，提供高度可靠的物體檢測和檢查。它內置的缺陷分類和分析算法可以快速識別外來粒子，以及評估它們的尺寸性質，包括面積、直徑、形狀、距離、角度和曲率。NanoSpec 4150配備了圖像采集和晶圓測量軟件，使用戶能夠高效監控過程變化，並提供有關測量元件的詳細信息。此外,NanoSpec機器能夠在發現缺陷的上下文中自動測量晶圓陣列的覆蓋和臨界尺寸。NANOMETRICS NanoSpec 4150提供了無與倫比的分辨率和靈活性,提供了最高的質量和檢查性能。該工具的自動缺陷分類和卓越的圖像分辨率使其成為準確快速地檢查掩模和晶片、減少工藝誤差和提高產量的理想工具。