二手 NANOMETRICS NanoSpec 6100 #293768860 待售

NANOMETRICS NanoSpec 6100是為高精度、靈活性和速度而設計的掩模和晶圓檢測設備。對其進行了優化，以快速準確地識別先進半導體器件中的屈服臨界缺陷。該系統配有5軸成像頭，具有延伸的景深透鏡以成像直徑達200毫米的全晶片。它具有先進的模式增強單元，消除了站點之間的不均勻性和非線性效應。NanoSpec 6100具有高分辨率、調色CCD相機和全晶圓統計分析,為光刻引起的缺陷提供了卓越的熱點檢測。高精度階段每晶片最多可拍攝4張照片，以便對缺陷進行快速的可視化和統計分析。它具有輪廓和邊緣解釋以及CD測量能力來檢測和分析CD不均勻性和其他屈服臨界缺陷類型。該機還能夠通過其彩色成像技術進行簡單的缺陷隔離。NANOMETRICS NanoSpec 6100構建在模塊化的開放式體系結構平臺上,該平臺與一系列檢查策略、技術和不同的編程語言兼容。它提供了多種用戶選項,用於自定義、圖像緩沖和字段分離。它旨在與其他NanoSpec工具和外部計量系統集成,以實現端到端缺陷表征解決方案。用戶還可以使用最先進的成像和計量環境,其功能包括各種圖像處理參數、可定制調色板以及預定義的收益優化任務執行和分析工具。該工具還具有易於使用的編程和設置工具,包括所見即所得編程功能和測試幾何的圖形表示,以便於操作。NanoSpec 6100是一種可靠、可靠、靈活的工具,可用於高效的掩模和晶圓檢查。其先進的成像和模式識別功能、先進的CD測量和邊緣解釋功能,以及用戶友好的界面,使該資產成為半導體制造過程中用於掩碼和晶圓級缺陷分析的寶貴工具。