二手 NANOMETRICS NanoSpec 6100 #293795183 待售
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NANOMETRICS NanoSpec 6100是一種先進的掩模和晶片檢查設備,旨在同時準確高效地檢查掩模和晶片,使用戶能夠快速識別兩種工件上的任何缺陷。該系統提供多種操作模式,並且能夠進行自上而下、自下而上和硬掩碼檢查模式,從而使用戶能夠識別和檢查任何高度的缺陷。通過廣泛的查看模式,NanoSpec 6100能夠對晶片和掩碼進行逐個像素的分析,從而使用戶能夠使用傳統的檢查方法識別出難以檢測到的細微缺陷。該單元還包括先進的成像能力,如斜向照明(OI)和暗場照明(Dark-Field Illumination,DFI),以最大限度地提高對比度和改善缺陷識別。這些特征可用於揭示其他照明技術無法看到的特征和特征,如側壁缺陷、缺失的通氣孔和觸點。借助可選的高級彩色相機,NANOMETRICS NanoSpec 6100能夠自動執行紅色、綠色和藍色ICCD相機圖像捕捉、LED和閃光燈彩色照明以及True Color Edge Detection。該機還擁有一系列自動化檢查工具,以最大限度地提高生產率,包括自動化工具同步掃描、自動掃描頻率優化、大面積檢查自動縫合和自動聚焦優化。資產還包括一系列獨特的功能,例如可選的背面照明模塊、矢量軌跡掃描、自動缺陷補償、景深調整以及在線缺陷審查模塊。NanoSpec 6100具有高效的工作流程,具有自動缺陷檢測、分類和自動報告生成等精簡功能,可減少檢查時間並提高生產效率。該模型還包括功能強大的數據管理工具,用於可用於自上而下、自下而上和硬掩碼檢查的晶圓和掩碼數據的全面審查、分析和比較。NANOMETRICS NanoSpec 6100是一種全自動和通用的掩模和晶圓檢測設備,可提高生產率和準確性。NanoSpec 6100具有一系列成像功能和先進的自動化工具,非常適合連接晶圓和掩模檢查,並確保可靠的產量。
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