二手 NANOMETRICS NanoSpec 6100 #9265795 待售

NANOMETRICS NanoSpec 6100
ID: 9265795
Thickness measurement system.
NANOMETRICS NanoSpec 6100是一種綜合性的掩模和晶圓檢測設備,設計用於光學和光掩模基板的精確、高分辨率成像。該系統能夠檢查、測試和驗證各種設備的數字和模擬組件,包括光學光掩碼、電阻器和電容器。NanoSpec 6100采用了最先進的成像技術,如LED照明、RGB攝像機和電動舞臺。電動級在x, y, z軸中移動掩模或晶片基板,並允許快速精確的像素定位。這一階段采用集成的自動對焦單元,可以讓機器快速調整景深,確保精確成像;這對於檢查線寬、形狀和形狀等關鍵特征非常有益。LED照明允許對基板表面進行均勻、可重復的照明,以確保高對比度成像;這與RGB攝像機相結合,可以在檢查不同尺寸的面罩和晶片時實現精確的分色。NANOMETRICS NanoSpec 6100設計用於生產或實驗室環境,還包括許多創新功能。其中包括用於缺陷檢測的自動彩色處理算法、缺陷圖像的實時處理、具有SPC功能的缺陷數據分析、高分辨率圖像捕獲、多視角成像以及分辨率高達500 nm的測量功能。該工具還具有自動檢查資產,可快速篩選低至8微米的缺陷,並以每秒5微米的速度提供高精度結果。總體而言,NanoSpec 6100提供了一個全面的檢查模型,可用於廣泛的掩碼和晶圓調查及驗證過程。該設備的高級成像技術、機動化階段、自動色彩處理和高精度測量功能使其成為任何生產或實驗室環境的理想工具,這些生產或實驗室環境要求對設備進行高精度的測量和驗證。
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