二手 NANOMETRICS NanoSpec 8000 #9241928 待售
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已售出
ID: 9241928
優質的: 1997
Automated film thickness metrology system
Film types measured:
Typical range:
Single layer films:
Visible: 200 Å - 30 µm
UV: 25-500 Å
Double layer films:
Visible:
Top layer: 100-30000 Å
Bottom layer: 100-10000 Å
Single layer thick films:
Visible: 4-30 µm
Absolute and relative reflectance:
Visible: 400-800 nm
UV: 210-400 nm
Oxide on poly:
UV: 150-10000 Å
Oxide on metal:
Visible: 3000-20000 Å
UV: 500-5000 Å
Refractive index: 1000-10000 Å
Typical precision:
Single layer films:
Visible: 0.1% or 2 Å min
UV: <1 Å
Double layer films:
Visible:
Top layer: 0.1% or 2 Å min
Bottom layer: 0.1% or 2 Å min
Single layer thick films:
Visible: 0.5%
Absolute and relative reflectance:
Visible: <0.4%
UV: <0.4%
Oxide on poly:
UV: 0.1% or 2 Å min
Oxide on metal:
Visible: 0.1% or 3 Å min
UV: 0.1% or 3 Å min
Refractive index: 0.0005
1997 vintage.
NANOMETRICS NanoSpec 8000是NANOMETRICS的掩模和晶圓檢測設備,設計用於微小型和納米級設備制造中的缺陷檢測。該系統具有自動化軟件單元，具有基於參數的算法過濾器，用於精確的缺陷檢查，以及成像和數據采集功能。它的最大圖像分辨率為10um/pixel,可定制制造過程中使用的材料的光學和電氣特性參數。該機使用方便，配備了運動控制和精密軟件，可實現成像過程的自動化。處理器還包括各種邊緣和模式檢測功能，以高效的數據采集。NanoSpec 8000利用高級光學器件來獲取各種關鍵信息,例如線條和邊緣寬度、線條和邊緣的對稱性以及處理特征的深度。此外,它還利用四向照明工具提供理想的成像條件平衡,包括用於高速測量的低角度照明和用於幫助分辨率要求的聚焦照明。NANOMETRICS NanoSpec 8000能夠快速準確地成像各種材料中各種復雜級別的設備。NanoSpec 8000的設計旨在降低工作流的復雜性並最大限度地提高吞吐量。它配備了智能、可編程的接口，即使是最復雜的成像測量也能方便操作。此外,資產還可確保高效、安全和安全的數據處理。最後,NANOMETRICS NanoSpec 8000適用於廣泛的檢查任務,包括掩模和晶圓制造。它能夠為缺陷檢測提供高分辨率的成像，並具有直觀的用戶界面以實現最高的效率。它還提供各種成像功能以及邊緣和模式檢測工具,以便於數據采集,以及一個安全的數據存儲平臺。
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