二手 NANOMETRICS NanoSpec 9010 #293650063 待售

NANOMETRICS NanoSpec 9010是一種功能強大的多傳感器臨界尺寸（CD）和覆蓋掩模和晶圓檢測設備。該系統提供了一個獨特的能力來測量、量化和映射一系列的關鍵尺寸從最優秀的電路元件呈現在微光刻掩模和晶圓表面。測量功能的範圍從最簡單的結構（小至6nm）到最復雜的結構（如大型通風孔、嵌入式特征和超鋪）。此外,動態成像和特征識別提供了無與倫比的準確性和分析能力。NanoSpec 9010同樣具有強大的失真和波動分析（DFA/DFA）和邊緣噪聲檢查（ENI）功能,可在掩模和晶圓截面上測量各種非均勻性和散光。因此，該裝置非常適合亞納米級的配準和覆蓋應用，例如接觸層的配準和加載對齊層，從而提高了生產過程的產量。在步進掃描模式下,NANOMETRICS NanoSpec 9010具有前所未有的0.5納米分辨率,能夠在測量小至6納米的極微小特征時實現最高的精度和精度。該機還具有可選的覆蓋亞納米模式，使其能夠以可重復的精度提供亞納米覆蓋測量。NanoSpec 9010提供無與倫比的成像和分析功能,並提供功能強大的軟件套件。該工具的核心是獨特的360°成像特征，它使在垂直和水平方向上進行的納米尺度測量能夠容易地進行比較和分析。圖像捕獲、分析和報告功能的組合為關鍵尺寸、叠加、失真和波動以及邊緣噪聲測量應用提供了無與倫比的結果。綜上所述，NANOMETRICS NanoSpec 9010是CD和覆蓋掩碼以及晶圓檢測應用的無與倫比的資產。憑借卓越的分辨率、圖像捕獲和分析能力,以及DFA/DFA和ENI,該模型提供了前所未有的準確性、可重復性和可靠性。此外,NanoSpec 9010還具有直觀而強大的軟件套件,便於使用和監控結果。因此，在先進的半導體掩模和晶圓檢測應用中，設備是工程師和生產人員的理想選擇。