二手 NANOMETRICS NanoSpec 9100 #293699943 待售

NANOMETRICS NanoSpec 9100是為半導體器件制造應用而設計的高精度掩模和晶圓檢測設備。它提供半導體器件上單層和多層圖樣結構的光學和電氣分析,包括晶體管、金屬層和電阻器,其特征尺寸分辨率低於10nm。NanoSpec 9100是一個全面的系統,能夠捕獲各種基板上的大小、形狀、均勻性、接觸、深度和平坦度等信息。該單元包括一個自對準攝像機，能夠準確地捕獲基板表面的光學和電氣數據，而無需任何手動調整，從而能夠對任何圖樣化或未圖樣化的樣品進行快速和高效的成像。光學器件專為高分辨率工作和特征創新而設計，如相位測量顯微鏡（PMM）、高靈敏度光學元件檢測（HSOED）和並行檢測照明（PDI）。這些系統共同為圖像提供了極高的分辨率、準確性和可重復性,以及用於可視化樣品中微小缺陷和變化的高級成像技術。在電氣檢查方面，NANOMETRICS NanoSpec 9100包括一臺CCD-On-Chip計量（CCOM）機，該機結合了C-V測量、載波生成映射和信號分析。該工具能夠以低於50 nm的分辨率記錄來自晶片的電信號，從而實現高維數據的優化封裝，用於精確測量。除了CCOM和光學系統外，NanoSpec 9100還包括自動數據過濾、邊緣檢測、識別算法等先進的後處理功能，以提高檢查的準確性和速度。此外,該資產易於使用,具有用戶友好的圖形用戶界面（GUI）,可用於數據采集和分析。NANOMETRICS NanoSpec 9100是設計用於實驗室和工業環境的通用且可靠的模型。其準確性、可重復性和高分辨率成像能力使其成為監測和提高半導體器件制造精度的強大工具。