二手 NANOMETRICS NanoSpec 9100 #9271374 待售

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NANOMETRICS NanoSpec 9100
已售出
ID: 9271374
Film thickness measurement system.
NANOMETRICS NanoSpec 9100是來自NANOMETRICS的尖端掩模和晶圓檢測設備。它是一種用於精確檢查和測量光刻掩模和晶片的前沿工具。NanoSpec 9100具有精確的42厘米x 43厘米視野,為檢查功能提供了最大的靈活性。這個創新的系統利用一個復雜的成像光學陣列來捕捉光刻掩模或晶圓每一層的單獨圖像。然後對圖像進行任何缺陷評估,允許用戶盡快識別和糾正任何異常。該單元有兩個主要組件:攝像機導航機(CNS)和圖像重叠工具(IOT)。CNS使用多種算法在掩模或晶片表面精確導航成像光學陣列,確保檢查所有區域。IOT使用獲得專利的混合算法將多達8個圖像組合在一起,以最大限度地提高清晰度並確保可以正確檢測和量化小缺陷。NANOMETRICS NanoSpec 9100還能夠執行高級分析操作,例如自動測量和檢測關鍵尺寸、線寬、叠加誤差和工藝窗口鑒定。它具有用戶界面,允許用戶輕松管理和控制該工具,從而能夠快速準確地獲取數據。除了令人印象深刻的功能外,NanoSpec 9100還提供無與倫比的性能。它可以以高精度處理每小時超過8000張圖像,允許快速測量和檢測。此外,該資產的設計極其可靠,確保它能夠長時間連續工作。NANOMETRICS NanoSpec 9100是一種尖端的掩模和晶圓檢查模型,它為光刻應用提供了最高水平的準確性和可靠性。其精確的成像光學陣列、用戶友好的界面和自動分析功能使其成為任何光刻設施的強大且必不可少的工具。
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