二手 NANOMETRICS NanoSpec 9200 #293759908 待售
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NANOMETRICS NanoSpec 9200是一種「掩模和晶圓檢驗」設備。它用於掃描晶片或掩碼,捕獲晶片/掩碼上每個現場的圖像,並將其與參考圖像進行比較。這允許對每個芯片或芯片進行快速、精確和可重復的成像。NanoSpec 9200包括集成的圖像分析系統和高精度XY級。圖像分析單元用於捕獲和分析圖像,能夠檢測到亞微米級以下的缺陷。XY級用於在視場周圍移動掩碼/晶片,並從晶片或掩碼上的各個站點捕獲數據。NANOMETRICS NanoSpec 9200的核心是它的高分辨率CCD成像陣列,像素小至1.2 µm。該機器能夠檢測到非常小的缺陷和特征,以及在缺陷定位上精確的測量和亞微米精度。NanoSpec還提供了擴展的景深,可補償光學工具中的像差。蒙版/晶片由集成的照明面板照明,該面板包含多個光源和濾光片,可提高圖像清晰度和準確性。該資產在可見波長和近紅外波長下運行,從而能夠敏感地檢測材料的變化。對於自動檢測,該模型采用自動計算機分析,對活動芯片區域進行可視化檢測,以檢測缺陷並對其進行分類。Autocomputer Analysis還使用參考數據庫將晶圓圖像與其參考圖像進行比較,以實現更快、更準確的分類。NanoSpec 9200還包括一個多通道軟件包,允許同時檢查掩碼/晶圓和參考圖像。該軟件還提供了一系列選項,例如圖像增強和缺陷報告。綜上所述,NANOMETRICS NanoSpec 9200是一種強大而精確的掩模和晶圓檢測設備。它通過高分辨率CCD成像、改進的景深以及自動缺陷檢測、檢查和分類提供了增強的成像能力。隨附的多通道軟件包為用戶提供了易於使用的圖像增強和缺陷報告選項。是掩模和晶圓檢驗的理想工具。
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