二手 NANOMETRICS NanoSpec 9300 #9241417 待售

NANOMETRICS NanoSpec 9300是由NANOMETRICS, Inc.開發的下一代掩模和晶圓檢測設備。該系統為先進和領先的技術提供了高質量的線性和2D檢查,使用戶能夠監控關鍵過程,並以無與倫比的精度檢查缺陷。NanoSpec 9300將專有的光學成像平臺與功能強大、定制的硬件、特定於應用程序的算法和復雜的分析技術集成在一起,以提供超高吞吐量模式審查。該單元設計用於高清光刻和圖樣晶圓應用，如極紫外線（EUV）或極深紫外線（EDUV）光刻。NANOMETRICS NanoSpec 9300提供了用於掩碼和晶片檢查的通用工具集,具有集成的光學計量、缺陷檢測、自動晶片和掩碼對準以及全面的文檔和報告功能。結合這些功能,用戶可以在過程開發過程中獲得最大的靈活性和控制,從而實現高精度成像和缺陷檢測。NanoSpec 9300由定制設計的映像平臺提供支持,為交互模式識別和詳細缺陷分析提供了廣泛的功能。該機采用5 µm激光頭，為詳細成像和分析提供最大分辨率和對比度，平均像素大小為1.2nm。該工具的高分辨率光學傳感器提供了一系列高靈敏度檢測器像素,可實現自動模式映射和全面缺陷檢查。NANOMETRICS NanoSpec 9300還配備了功能強大的特定於應用程序的算法，允許用戶快速識別掩碼和光掩碼缺陷，讓他們在生產周期的早期采取必要的糾正措施。此外,該資產還提供了一系列自動化晶圓檢查工具以及一整套報告和文檔功能,使用戶能夠實時監控流程並跟蹤關鍵性能指標。最後,NanoSpec 9300包括多種定制功能,使其成為各種生產過程的通用平臺。該模型具有用於參數優化的專有軟件工具,允許用戶根據其生產環境的個別需求定制檢查過程。該設備還支持對多個行業標準的同步支持，允許用戶在多個生產開發過程中使用同一平臺，節省寶貴的時間和資源。