二手 NANOMETRICS NanoSpec 9300 #9241654 待售

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ID: 9241654
Film thickness measurement system.
NANOMETRICS NANOSpec 9300 from NANOMETRICS是一種新一代的掩模和晶片檢查設備,可提供更高的分辨率、更高的精度和更高的吞吐量,用於檢查掩模和晶片上的關鍵特征。它是一個全自動的視頻邊緣檢測系統(VEDS),用於對齊掩碼和晶片,以獲得最高的精度。NanoSpec 9300利用先進的VEDS,使設備能夠執行高速對準,準確檢測臨界電路特性中的微米級差異,並快速捕獲掩碼和晶片的全場圖像。這使機器能夠檢查到5納米分辨率以下的晶片,並準確檢測到尺寸小於0.2納米的缺陷。此外,NANOMETRICS NanoSpec 9300能夠檢查標準蒙版和晶片,以及包括薄膜、MEMS和FinFET在內的先進技術。該工具還能夠測量模式均勻性和定位錯誤對齊,其質量中心(C.O.M.)精度優於+/-25 nm。資產包括幾種功能強大的自動化工具,以確保高效和準確的檢查過程。其中包括用於掃描和過濾掩碼上特定區域的動態字段編輯(DFE),用於關註需要更多註意的特定區域的目標掃描,用於快速比較來自不同掩碼或晶片的數據的ExactMatch,以及自動報告生成器。NanoSpec 9300還擁有易於使用的用戶界面,可輕松與現有軟件應用程序集成。該模型還設計為極其可靠,采用模塊化、易於維護的設計,可減少用戶工作量和停機時間。總體而言,來自NANOMETRICS的NANOMRICS NANOSpec 9300是用於高級掩模和晶圓檢查應用的理想設備。它結合了卓越的精度、先進的自動化工具和用戶友好的界面,以確保快速、可靠和準確的檢查過程。
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