二手 NANOMETRICS NanoSpec AFT 181 #9398849 待售

NANOMETRICS NanoSpec AFT 181
ID: 9398849
Thin film thickness measurement system.
NANOMETRICS NanoSPEC AFT 181是一種掩模和晶圓檢查設備,可為客戶提供他們所需的業界領先的準確性和吞吐量。該系統采用先進的電子和光學技術,可提供最高精度、最高精度和最高吞吐量。此外,可以將設備配置為幾乎滿足客戶可能需要的任何檢查應用程序要求。NanoSpec AFT 181使用先進的自動聚焦技術(AFT),根據晶圓或蒙版圖案自動調整光學器件的焦點。該技術可確保以盡可能高的分辨率高效、準確地進行檢查。該機還結合了雙激光源,允許根據需要同時進行亮場和暗場成像。這意味著該工具可以很容易地適應光刻和蝕刻檢查、基於各種掩模和晶圓圖樣的缺陷審查和校正以及標線檢查等不同的任務。NANOMETRICS NanoSpec AFT 181提供各種傳感器和光學器件,用於表面檢查和橫截面剖面。對於表面檢查,可以對面罩、晶片和基板進行高分辨率光學檢查。再者,它支持多種晶圓和掩碼掃描模式,包括平鋪掃描、單次連續掃描和高效雙次掃描模式。對於橫截面剖面檢查,資產采用板內分光光度計。這樣可以確保實現樣品的高分辨率計量。分光光度計使用高級3D成像來測量樣品形狀,提供樣品高度、寬度和拓撲的準確數據。此外,該模型還具有各種附加組件,這些組件作為完整的檢查解決方案協同工作。這些組件包括高級映像捕獲和預處理硬件以及高級報告和分析軟件,使客戶能夠快速識別缺陷並監控晶圓和掩蔽生產過程。NanoSpec AFT 181為客戶提供了高性能的掩模和晶片檢查設備,在緊湊、易於使用的封裝中提供了準確性、吞吐量和靈活性。該系統具有強大的光學性能、高級檢測算法和先進的圖像處理技術,為客戶提供了確保零件質量所需的可靠性和準確性。
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