二手 NANOMETRICS NanoSpec AFT 210 #293656608 待售
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NANOMETRICS NANOspec AFT 210 from NANOMETRICS是為半導體制造而設計的專業級Mask&Wafer Inspection設備。它通過高度先進的高分辨率散射法提供掩碼和晶圓成像,以及高精度的模內計量。該系統具有集成的20倍放大圖像,可執行自動晶片功能檢查,以及自上而下的3.5倍圖像,可提供更大的視野以查看整個晶片。檢驗單位支持光學掩模和晶片成像、光刻模式的監測和評估、掩模和晶片縫合以及模內計量。NANOMETRICS NANOSPEC/AFT 210具有全自動晶圓映射功能,可快速獲取遮罩或晶圓制造過程各個方面的光學和散射數據,如缺陷密度和覆蓋測量。散射測量成像支持廣泛的波長範圍,使得能夠檢查不同的過程和幾何形狀。它可以檢測線寬小至0.018微米的模式。對於精確的模內計量,機器使用其板載計量傳感器,既提供高精度和高分辨率。它可以測量重叠的多層圖樣到幾納米以內。該工具還可以檢測和測量缺陷、扼殺/傾斜和其他不規則性。在可用性方面,資產擁有易於使用的觸摸屏界面,讓用戶可以快速設置和操作模型。它還提供了多種用於數據分析和操作的軟件工具。該設備附帶一個選項,以集成額外的計量工具,如多熱光刻和先進的模式計量系統。總體而言,NANOMETRICS提供的NanoSpec AFT 210是半導體制造的絕佳選擇,一定能滿足您的所有檢查和計量需求。憑借其高分辨率成像以及自動晶片和掩模映射,您可以確保整個生產流程的準確性和質量。
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