二手 NANOMETRICS NanoSpec AFT 210 #9043965 待售

NANOMETRICS NanoSpec AFT 210是半導體工業中用於檢測物理和電氣缺陷的自動化100X掩模和晶圓檢測設備。該系統利用基於衍射的散射技術和電子束納米光學技術幫助檢測和識別缺陷。NanoSpec具有高速視覺單元和基於物理模型的缺陷檢測和分類引擎。這種功能組合在快速掃描時間內具有很高的準確性和可重復性。NanoSpec還能夠測量線寬到50納米以下（nm）。此外，機器可以區分光刻、摻雜、電鍍、蝕刻等不同類型的缺陷。NanoSpec利用反射和暗場照明,允許各種檢查配置。該工具依靠超高速成像資產在納秒內捕獲信息，以及為高效模式識別而設計的圖像處理模型。該設備可以檢測小到110 nm的缺陷，包括通過先進的平版印刷技術如音高分割線和雙音布局所產生的缺陷。系統還提供自動化的作業編程、過程控制和通過/失敗分析。它能夠進行大容量的晶片和掩模同時檢查，並且可以與許多前端過程控制系統集成。該單元還配備了激光顯微鏡，用於識別和研究微觀結構和汙染。對於所有類型的缺陷,NanoSpec的缺陷檢測精度為0.2微米。此外，機器提供100%的采樣率，保證識別晶圓或掩模上存在的所有缺陷。所有工具數據都存儲在公司的專有數據庫中,用於進一步分析和過程評估。該資產還與大多數用於數據操作和檢查評估的主要軟件程序兼容。NanoSpec是一種經濟高效的儀器,可幫助識別和減少缺陷,同時優化用於改進過程的工具。通過直觀易用的界面,客戶可以快速配置設置,選擇適當的缺陷檢測標準,並生成詳細的檢查報告。此外,該型號的高速掃描減少了掩模和晶圓檢測時間,這意味著增加了生產吞吐量。