二手 NANOMETRICS NanoSpec AFT 210 #9265791 待售

NANOMETRICS NanoSpec AFT 210
ID: 9265791
Thickness measurement system.
NANOMETRICS NanoSpec AFT 210是一種掩模和晶圓檢查設備,可用於廣泛的應用,包括叠加測量、缺陷檢查和過程控制。該系統提供高級功能,如自動對焦、超快自動化和獨特的3D成像功能。該裝置采用獲得專利的三維成像工藝,可精確檢測表面和地下缺陷。這是通過結合光學相幹斷層掃描(OCT)和其他成像技術來完成的。OCT是一種幹涉成像工藝,用於表面和材料的無損成像。NANOMETRICS NANOSPEC/AFT 210能夠同時成像多層,分辨率降至10nm。該機器設計用於生產環境和實驗室使用。它具有直觀的圖形用戶界面,包括作業控制、模式選擇和特征識別向導。它還具有創建自定義作業以滿足特定用戶要求的功能。該工具配有高分辨率CCD相機,用於先進的圖像采集和分析。它還具有高速自動對焦資產,每行掃描速度高達0.5秒。這樣可以快速準確地檢測缺陷並控制過程。相機鏡頭型號還允許可變放大倍率高達2400 X,設備具有集成的雙光束光學系統,確保精確精確的叠加測量。雙光束在可見光譜範圍內工作。它還包括激光準直單元、薄膜計量工具和暗場顯微鏡。經SEMI標準S13認證,用於自動掩模和晶圓檢驗。NanoSpec AFT 210旨在提供卓越的成像、分析和數據處理功能。這臺機器提供可靠性、準確性和快速周轉時間,使其成為掩模和晶片檢查的理想選擇。它能夠為曲面和次曲面缺陷提供詳細的圖像以及精確的輪廓。
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