二手 NANOMETRICS NanoSpec AFT 2100 #293754157 待售

NANOMETRICS NanoSPEC AFT 2100是一種自動掩模和晶片檢查設備,用於檢查200 mm晶片和光掩模上的缺陷。它可以用來檢測各種各樣的缺陷，包括劃痕、針孔和殘留。系統配備了5MP CCD攝像頭，可檢測小至25nm的缺陷，精度高達0.3 μ m。CCD相機經過優化,可以同時捕獲掩模和晶片表面的高分辨率圖像,從而能夠準確評估晶片圖樣質量。此外，相機還可以配備偏光濾鏡，以顯著減少表面反射的影響，提高圖像質量。AFT 2100采用快速、準確的算法來識別潛在缺陷及其相關的優先級。該算法通過智能比較掩模圖像和晶圓圖像來檢測任何幾何差異。這種比較可以快速、精確地目視檢查掩模或晶片的表面。該單元也可用於粒子檢測。靜態和移動平均算法測量掩模或晶片上粒子的平均深度，以便識別任何超出正常範圍的粒子。另外，機器有能力測量粒子的大小、形狀和方向，可以用來隔離潛在的危險粒子並分析它們的行為。AFT 2100完全符合SEMI標準的S14，確保它可以與任何兼容的蒙版和晶圓處理工具一起使用。它還配備了一個遠程控制模塊，使用戶能夠從任何遠程位置控制和監視資產。最後,AFT 2100配備了一個軟件包,可輕松配置和管理模型的各種功能。該軟件允許創建和自定義晶圓程序模板、設置設備參數、安排作業時間表、生成報告等。這使得它成為尋求全面掩模和晶圓檢測解決方案的質量保證團隊的理想工具。