二手 NANOMETRICS NanoSpec AFT 2100 #9400848 待售

NANOMETRICS NanoSpec AFT 2100是一種全自動掩模和晶圓檢測設備,專為高端生產環境而設計,提供了廣泛的內聯缺陷檢測和審查功能。NanoSpec AFT 2100為各種掩模、光掩模和下一代模具產品提供快速、通用的特性檢查和缺陷檢測。主要系統配置包括專用的現場系統,每個系統都由一個成像炮塔組成,同時具有紫外線和III型光源以及一個專用的像素濾鏡模塊。成像炮塔由兩個物鏡組成，組裝在固定的關節臂上。這些透鏡捕獲光跨越雙波長光譜，允許遠場和近場檢查。成像炮塔還設有可用於優化掃描區域的數字變焦單元，允許快速檢查整個掩模或晶圓，而無需重新定位。單獨的像素濾鏡機設計用於分析成像炮塔收集的數據，並將其與預定義的特征密度、大小、形狀和梯度進行比較。如果任何功能不在範圍內,將生成自動警報。該工具還配備了許多高級檢查功能，包括自動特征和缺陷識別、叠加成像和線路/空間識別等。該資產還可以配置為多站點功能,允許對多個晶圓和掩碼同時進行檢查,從而減少人工並提高整體效率。此外,該模型還可用於光學和暗場顯微鏡,使用戶能夠驗證缺陷並檢查在正常操作下可能看不到的關鍵特征。NANOMETRICS NanoSpec AFT 2100還提供了許多圖像分析和後處理選項。通過ImageJ和NIST Image Analysis Objects等軟件，用戶可以快速輕松地創建目標模具或掩碼的詳細後處理圖像。此功能集允許用戶快速診斷和響應潛在缺陷,從而提高生產環境中的總體生產率和產量。總體而言,NanoSpec AFT 2100是一款先進的掩模和晶片檢查設備,可簡化和加快檢查過程,提供廣泛的功能、高精度和快速的後處理能力。是實現高缺陷產量、提高整體生產性能的理想工具。