二手 NANOMETRICS NanoSpec AFT 212 #9208402 待售

ID: 9208402
Thickness measurement system Lenses: OLYMPUS .90, .65, .20.
NANOMETRICS NanoSpec AFT 212是一款專為半導體制造而設計的最先進的自動蒙版和晶圓檢測設備,采用市場上最先進的檢測技術。該系統結合了多種先進的檢測技術,如自動聚焦技術(AFT)、NanoSpec矢量映射,以及一個可調照明單元,以提供微電子晶片上缺陷和其他異常的無與倫比的精度和圖像質量。自動對焦技術(AFT)由一對基於高分辨率三維反射高度圖聚焦晶片納米尺度特征的立體相機組成。利用AFT,用戶能夠以亞納米精度精確測量和分析晶片表面地形。相比之下,傳統的高分辨率顯微鏡只能測量分辨率約5納米的表面特征。NanoSpec向量映射機允許檢測NanoSpec AFT 212上的納米尺度缺陷和其他異常。使用此工具,用戶可以在傳統顯微鏡可達到的5納米精度的10%內,在納米級水平下測量特征。這些特征從凹痕、顛簸和劃痕到橋接、空隙、短褲等等。NANOMETRICS NanoSpec AFT 212的可調照明資產允許用戶通過控制放置在晶圓表面上的光量、角度和強度來精確測量晶圓的特性。這樣可以在掃描掩模和晶片上較小的納米比例特征時提高精度。利用這種可調照明模型,NANOMETRICS能夠為缺陷檢測和分析提供最高質量的圖像。此外,設備提供了易於使用的用戶界面,允許用戶控制各種設置,如焦點、曝光時間、圖像大小和放大倍數。它還具有一個集成的數據分析系統,它允許用戶存儲、分析、比較和查看與該單元獲取的數據。NanoSpec AFT 212具有很高的精度和可靠性,是微電子生產線面膜和晶圓檢測的理想解決方案。
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