二手 NANOMETRICS NanoSpec AFT 5100 #9266970 待售

NANOMETRICS NanoSpec AFT 5100掩模和晶圓檢驗設備是一種自動化的高分辨率計量工具,專為半導體制造而設計。NanoSpec AFT 5100具有通用模式識別系統,可準確可靠地檢查具有定性和定量功能的模式。它還包括一個先進的顯微鏡光學模塊，可以精確測量多個圖樣z高度和表面參數，最高分辨率<50nm。自動化計量功能的單元允許高速和高精度的模式檢查，易於設置和操作簡單。該機器提供多種成像技術選擇,包括亮場、暗場和偏振照明,從而增強了各種清潔應用的成像能力。它包括一個優化的宏觀/微觀結構照明模塊，用於各種結構界面，從而提高圖像質量和精細細節分析。此外,該工具還具有一種獨特的算法,可智能檢測和掩蔽測試邊緣細節,從而便於準確量化劃痕、斷裂和線寬。該資產還可以精確測量缺陷大小和位置,以及先進的掩模修復（一種用於自動缺陷修復的技術）。它提供了多色叠加校正,以確保各種彩色圖像的對比度均勻性,以及3D光學截面。NANOMETRICS NanoSpec AFT 5100配備直觀、用戶友好的軟件,讓用戶輕松控制模型、實時觀察測試結果、選擇、設置和優化測量參數以及導出數據。此外，該設備還包括一個用於存儲測量數據的內置數據庫，便於日後使用。綜上所述,NanoSpec AFT 5100 Mask&Wafer Inspection System是一種用於半導體制造的高效計量工具,它提供了一組獨特的功能,可輕松準確地檢查Mask和Wafer。它提供各種成像技術、多色叠加校正和先進的掩模修復功能,以提高測量精度。該單元還提供了直觀的用戶友好圖形用戶界面，使其操作方便，達到高精度的計量結果。