二手 NANOMETRICS NanoSpec AFT 6100 #9276360 待售
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單擊可縮放
ID: 9276360
Film thickness measurement system
Handler: OLYMPUS AL110 Series Auto loader
Up to (3) layers
Reproducibility: <1Å UV, 2Å (Visible)
Measurement time: 0.5 to 3 sec/site
Data management: 2D and 3D Mapping, diameter scan
Communication kit: SECS II
Data export: ASCII
Wave length range:
400 to 800 nm
210 to 800 nm
Film thickness range:
250Å to 20µm (Visible)
40Å to 20µm (UV and visible)
Components:
Optics stand
Monitor
Key board
Track ball
Joy stick
Hardware configuration:
Wafer size: 75 mm to 200 mm
Optics: 4x, 10x, 15x (UV), 40x
Spot size: 50, 20, 18 (UV), 5.5 µm
PC Computer with high capacity drives
Power supply: 117 ±5% VAC, 50/60 Hz, 5 A.
NANOMETRICS NanoSpec AFT 6100是一種精密的掩模和晶圓檢測設備,旨在通過檢測單個納米級的制造缺陷來確保產品的最佳產量。它幾乎可以檢測到任何陣列問題,包括未對齊、工藝覆蓋範圍不足、蝕刻工藝缺陷、晶圓裂紋、特征未對齊以及其他異常。NanoSpec AFT 6100的工作原理是拍攝遮罩和晶片圖樣的超高分辨率圖像以及缺陷圖。然後用它來分析納米級的特征，提供關於缺陷模式、位置和大小的詳細見解。它還有助於測量光掩模的特征精度、放置和對準精度以及圖案完整性。AFT 6100具有高達5000萬像素分辨率的高分辨率攝像頭和獲得專利的數字圖像采集系統，能夠檢測非常小的缺陷。該單元的軟件體系結構包括功能強大的圖像捕獲和缺陷檢測引擎、靈活的數據分析和比較工具以及廣泛的報告功能。該機器具有高達332X的縮放功能,可用於查看局部缺陷。它配有透明的輕笑器，用來增強晶圓或面罩的平整度和放置精度。NANOMETRICS NanoSpec AFT 6100還有一個自動化的光學對準工具，可以快速將光掩模與晶圓模板對準，幫助減少檢查時間。NanoSpec AFT 6100提供高度靈活和可靠的檢測資產,具有高精度和高精度。其直觀的圖形用戶界面還可以讓用戶快速查找和理解缺陷信息。該模型可用於多個不同層次的生產、鑒定和工藝開發工作，從單模到設備層面。AFT 6100易於使用,並提供各種定制選項以滿足特定需求。它是任何晶片制造過程中必不可少的工具,需要極高的精確度和詳細的陣列和檢查能力。
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