二手 NANOMETRICS NanoSpec AFT #293661060 待售

NANOMETRICS NanoSpec AFT是為高精度計量應用而設計的掩模和晶圓檢測設備。該系統提供了一套廣泛的光電元件，以提供復雜的掩模和晶圓特性的清晰和詳細的圖像。它集成了兩個基本組成部分來實現這一目標：激光源成像單元和高級成像頭。NANOMETRICS NANOSPEC/AFT的激光源分量測量具有亞納米精度~ 1 nm）的特征尺寸。它使用8通道激光機結合三通道強化CCD（ICCD）相機。此工具能夠進行高級3D成像,並且可以針對糾錯和/或測量應用進行專門配置。它還支持廣泛的模式識別技術,並提供對掩模和晶圓特征的精確、準確和高分辨率成像。NanoSpec AFT的成像頭元件提供0.5 nm分辨率的晶圓表面和特征的高精度成像。它包括一個高反射多軸高精度電動級。此模塊可實現非常精確的級控制,以使成像資產與晶圓表面最佳地對齊。該模型還提供了堅固的光學隔離設備，以消除來自環境光源的幹擾並確保高分辨率成像。NANOSPEC/AFT是用於高精度掩模和晶圓檢測的最全面、最經濟高效的解決方案。它允許精確測量特征尺寸和包括線寬和拐角切口在內的圖案糾錯。因此,它為過程控制和制造優化提供了寶貴的工具。該系統可靠性高，操作方便，非常適合生產環境。