二手 NANOMETRICS NanoSpec AFT #293807248 待售

NANOMETRICS NanoSpec AFT是一種為半導體工業設計的掩模和晶圓檢驗設備。該系統基於垂直掃描幹涉測量（VSI）技術，為各種半導體制造和研究過程提供高度可靠和可重復的測量。該單元的主要組件包括幹涉測量單元、電光單元和控制器。幹涉測量單元使用VSI技術以極高的精度測量樣品的表面輪廓（光掩模或晶片）。電光單元包含分析幹涉單元收集的數據所需的檢測光學和電子設備。控制器用於操作兩個子系統，並作為一個整體監控樣本的狀態和性能。NANOMETRICS NANOSPEC/AFT結合了VSI的高靈敏度與氣流直接技術（AFT），提供極精確的測量能力。該機器利用傳感器頭樣品上的連續氣流，允許對樣品進行完整的標準無損計量。該工具的非破壞性還可以防止樣品損壞。該資產不僅在半導體行業有應用，在研發應用中也有應用。系統高級信號處理算法允許對各種樣本屬性（如表面粗糙度、線寬和平面度）進行可重復和精確的測量。NanoSpec AFT還允許測量全表面輪廓和亞微米特征,如線緣粗糙度（LER）、刻面、線寬粗糙度和深度變化。這使得它對於檢查臨界層掩模模式和晶體管柵極輪廓特別有用。NANOSPEC/AFT設計具有較高的樣品吞吐量，使其能夠在短時間內對大量樣品進行檢測。它也很容易使用，能夠針對特定的應用進行量身定制。它體積小巧，成本低，是半導體檢測研究應用的理想選擇。