二手 NANOMETRICS NanoSpec II #293817576 待售

NANOMETRICS NanoSpec II是一種用於半導體制造關鍵過程控制的高精度、無損計量的掩模和晶圓檢測設備。它包括四個組件：一個DUV光引擎，一個探測器臂，一個6軸機器人舞臺和一個軟件系統。NanoSpec II的光引擎使用專為半導體應用量身定制的專有光源。它提供高強度、短脈沖和窄光譜，以產生高細節的微電子部分圖像。光源可用於多種反射模式，包括亮場、暗場、偏振光、斜面和頻閃監視器。檢測器臂設計用於晶圓或掩模的光學掃描。可用於晶片測量、晶片幹涉、掩模偏振、掩模比較顯微鏡、掩模紅外顯微鏡。它可以調整以適應各種樣本量，直徑從0.5英寸到8英寸。6軸機器人級提供了被檢零件可靠、可重復的定位，讓樣品在檢測站之間快速準確地移動。它裝有晶片處理工具，以加快晶片加載到NANOMETRICS NanoSpec II上。該軟件單元提供光發動機的自動校準、自動圖像采集和圖像處理、一整套數據分析工具以及數據查看的可視界面。它具有虛擬文件機（VFS）,允許用戶在工具上管理和存儲圖像。總體而言，NanoSpec II是半導體行業中檢驗口罩和晶片的有效資產。其輕型發動機、探測器臂、機器人舞臺和軟件模型相結合，為微電子器件的計量和精細分析提供了自動化設備。該系統是為長期可靠性而設計的，能夠對關鍵半導體元件進行高效、準確和可重現的檢查。