二手 NANOMETRICS NanoSpec VT 210 #293700335 待售

NANOMETRICS NanoSpec VT 210是為半導體工業設計的高分辨率掩模和晶圓檢測設備。它提供了對關鍵掩模和晶片的半自動化、高精度的檢查,能夠快速檢測、識別和校正缺陷。該系統非常適合應用於先進的半導體制造、故障分析和卓越的設計。該單元采用13.5英寸顯示器和250毫米的上層旅行區域，並通過真空紫外線（VUV）光譜範圍提供了極端紫外線（EUV）光學特征的高分辨率圖像。VT 210配備了一系列特殊光學器件，如先進的UV光學器件，它允許小至20 nm的特征尺寸成像，以及低劑量X射線顯微鏡，提供高達10 nm特征尺寸的成像能力。機器可以用可重復掃描進行編程，用戶無需等待掃描完成即可實時交互分析缺陷。Ultracompact VT 210還有一個內置攝像頭和一個開放的體系結構平臺，帶有一個預選參數庫，能夠對工具進行高級編程和定制。它可用於診斷問題、評估過程更改或執行設計優化。此外,用戶可以自定義特定應用程序的檢查參數,並且可以在不額外暴露的情況下檢查樣品。對於Mask和Wafer應用程序,VT 210提供自動缺陷識別、分類和優先級劃分。它還可以捕獲和保存缺陷圖像=以實現快速缺陷分析和特征分析。為確保高精度，用戶可以選擇多個任意掃描窗口，資產甚至可以區分幹凈、可修復和汙染/分層的缺陷。總體而言,NanoSpec VT 210是一種先進的晶圓和掩模檢查模型,旨在促進半導體制造、故障分析和卓越的設計。除了先進的紫外線光學、低劑量X射線顯微鏡和交互缺陷分析功能外,VT 210還提供自動缺陷切除、缺陷分類和缺陷優先級劃分。簡而言之,VT 210提供了詳細的光學檢查,並能夠快速準確地識別和解決缺陷。