二手 NANOMETRICS Orion #9217790 待售
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NANOMETRICS Orion是一款突破性的掩模和晶圓檢測設備,允許用戶測量各種半導體器件的表面地形和幾何參數。對於需要以極高的精度檢查晶片和掩模的廠商來說,它是理想的選擇。該系統的核心是使用高分辨率相機和調制光源分析樣品特征的專有掃描和采樣技術。全畫幅成像傳感器以高對比度從樣品的多個視圖中捕獲圖像。該單元使用專有算法捕獲和分析圖像,在短時間內提供對樣本表面地形和物理特征的高分辨率表征。Orion還集成了先進的多通道信號調節模塊,允許機器同時測量四個表面參數。該模塊測量曲面尖峰的角平坦度、曲面的突出部分、厚度變化或曲面結構尖端之間的距離。它還測量樣品在多個方向上的表面結構和信號截面的最大突出高度。該工具配有直觀的圖形用戶界面,允許操作員快速設置測試,選擇測量參數,測量樣本特征,實時可視化結果。該軟件還提供了強大的校準工具和各種工具配置。所有使用NANOMETRICS Orion掩模和晶圓檢驗資產獲得的測量都具有很高的準確性和可重復性。該模型旨在滿足對工業和實驗室應用的最嚴格和最苛刻的要求。它為掩碼和晶片表面表征提供了完整的解決方案,包括地形、SPI、SEM、AFM、SEM-EDX或OWLS應用。
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