二手 NANOMETRICS RPM Blue #293602377 待售
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NANOMETRICS RPM Blue是一種高度先進的掩模和晶圓檢測設備,用於分析和審查光掩模、電子束圖樣和介電材料,以確保最高質量水平。該系統專為實現最佳性能而設計,可實現超高分辨率成像和分析。它具有自動化的晶圓圖庫,可快速高效地收集數據,靈活的用戶界面支持較小的連續重新布局功能,以及廣泛的算法,可實現復雜的特征識別和自動缺陷分類。NANOMETRICS RPMBLUE還具有自動聚焦和曝光設置,以提供高產光掩模分析。其前端光學器件具有可調節的鏡頭對焦和五種可編程的光圈狀態。該單元還具有高度適應性,其集成的舞臺機器配備了先進的XY對齊功能和動態XY采樣精度,可調整視場大小以精確適應測試模式的大小。此外,該工具的光譜濾波器可即時調節,並提供不同層的光譜豐富圖像。RPM BLUE帶有增強的成像和測量軟件,旨在使用戶能夠更好地了解晶片或光掩模的質量。資產可以創建晶圓圖像特性的表和直方圖,如模具尺寸、散射和暗場、接觸孔和線寬等。它還具有強大的統計功能,使用戶能夠快速準確地比較多種模式。該產品還包括一個高級模式分析和審閱工具包(P.A.R.T., P.A.R.T.),幫助用戶高效快速地評估不同的測試規範,以動態識別異常和缺陷。它還帶有「信息管理工具」,可幫助用戶快速存儲、檢索和報告所有數據。簡而言之,NANOMETRICS RPM BLUE是半導體設計、掩模和晶圓檢測的一站式解決方案,其先進能力和成果均超過行業標準。
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