二手 NANOMETRICS Vertex #9379059 待售

NANOMETRICS Vertex是一個掩模和晶圓檢查系統，旨在支持先進的工藝節點和應用，包括finFET技術。配備了先進的圖像操作和先進的模式識別能力。該系統可用於改善晶片光刻工藝中主動層和被動層的臨界缺陷檢測。它由一個獨特的圖像采集引擎組成，可以獲取具有總亮度均勻性和清晰度的頂部和底部圖像，以及提供均勻照明和卓越圖像質量的高性能光學模塊。頂點還可以配置幾種高級圖像操作功能,其中之一是獲得專利的圖像相交技術（IT）,它能夠檢測保形防反射塗層（CARC）,以及微橋和缺陷水坑等子分辨率特征。它還帶有一個分析匹配模塊（AMM），這是一個用於缺陷識別和分類的計算機輔助過程。該系統還設計了高速數據存儲容量、板載多級缺陷識別引擎,以提高效率和準確性,以及實現缺陷自動審查和註釋的功能。此外，還可以配置用於故障分析的數據采集和分析引擎，便於操作和設置的下拉菜單，以及用於各種應用的不同攝像頭頭模塊。最後,可以將NANOMETRICS Vertex與各種自動化解決方案集成在一起,用於自動缺陷審查和註釋、缺陷跟蹤和趨勢分析。它還支持各種晶圓層和計量操作的自動缺陷排序和排序。