二手 NAPSON NC-3000F #9123347 待售
網址複製成功!
NAPSON NC-3000F是一種強大的掩模和晶圓檢測設備,旨在提高半導體制造質量和降低成本。該系統提供全場、同時捕獲掩模和晶片特性,使用自動、精確的光學檢查和監視掩模和晶片圖樣。該部門采用專有的先進技術,結合模塊化硬件配置和行業解決方案,從而提高了定性和定量性能。該機器由三個主要組件組成,一個精密光學成像儀和一個特殊的光學包以及一個龐大的數據收集軟件庫。NC-3000F使用具有高動態範圍、高信噪比和高能效激光激發功能的專有成像工具來實現無與倫比的分辨率和動態範圍。光學封裝具有雙重曝光功能,允許同時進行掩模和晶圓檢查。龐大的數據庫包括全自動和可定制的軟件,可實現全面的分析和可定制的報告生成。NAPSON NC-3000F也有多種檢查模式,包括自動面罩檢查(AMI)、面罩對晶圓註冊(MWR)和光學飛行測試(OFT)。AMI從頂側和底側模式提供掩模模式的高速評估,並提供平面和/或3D自動檢查的選擇。MWR自動對齊掩模和晶片圖樣,以提高精度和質量。OFT允許對樣本模式進行多次無損光學飛行測試的自動化性能,從而為用戶提供可靠且可重復的數據。資產還包括4軸XYZ-theta級,可實現掩碼和晶片結構的高精度對齊,減少與掩碼數據驗證和校正過程相關的成本,並提高產量。自動對齊允許可重復性、穩定性、精度和準確性。此外,該模型還采用了先進的光源幹涉計量法,以實現精確的性能和特性。集成的高速模式匹配(HSSPM)設備提供了模式識別的準確性和可重復性。NC-3000F是一種有效且通用的工具,提供了一系列全面的成像、註冊和檢查功能。它旨在節省成本和提高半導體制造工藝的質量。該系統適用於實驗室和工業環境中的廣泛應用,設計具有最高水平的安全性和可靠性。
還沒有評論