二手 NAPSON PN-50∝ #9153438 待售
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ID: 9153438
Wafer inspection system
Parts and utility:
Wafer handling system
Laser & optic system
Power distribution panel
Chiller assembly.
NAPSON PN-50∝是下一代面向生產的面膜和晶圓檢測設備。該系統提供了一系列全面的功能,包括高質量的多場晶片檢查、圖像捕獲和分析、缺陷映射和評分、對齊、叠加和可打印性評估。該裝置的設計支持廣泛的生產應用,重點是高精度檢測、缺陷識別和缺陷叠加評估。這臺機器配備了最先進的相機工具,配備了全畫幅RGB傳感器,能夠捕捉像素分辨率高達2,488 x 1,764、景深50毫米的圖像。此外,資產還提供了一個自動化階段,可在不到一分鐘的時間內掃描整個晶圓。PN-50∝配備了高分辨率的10百萬像素彩色相機,使操作員能夠可靠地捕獲和分析晶圓上的缺陷圖像,例如顆粒汙染或汙漬缺陷。再者,該模型的高級光學配置允許操作員產生具有準確性和可靠性的大規模叠加。該設備還包括一套模式比較軟件工具,可以比較實際的掩碼特征和預期的模式。這可以幫助找到潛在對齊問題、錯誤聯系人和其他潛在掩碼設計問題的區域。此外,該系統還可用於自動光刻工藝鑒定、工藝變化評估和新操作員培訓,以加強產品設計和制造過程。此外,NAPSON PN-50∝還配備了最新的光學對準和叠加(OAO)技術,具有10毫米寬的視野。這一OAO技術可用於準確識別不同類型的缺陷,如顆粒、粉塵等問題,並提供潛在的解決方案。利用OAO和50 mm的景深,該單元可以檢測到遮罩缺陷、線緣粗糙度、圖案不符合,甚至是較小的尺寸誤差。PN-50∝面膜和晶片檢測機是制造商尋求質量保證、高效生產和精度的理想選擇。該工具提供了確保質量檢查、缺陷識別和缺陷叠加評估所需的工具。NAPSON PN-50∝具有最先進的光學對準和覆蓋能力,是面向生產的掩模和晶圓檢測的可靠而有力的解決方案。
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