二手 NIKON 3A #9272638 待售

NIKON 3A是為高通量檢測和缺陷分析而設計的先進的掩模和晶圓檢測設備。該系統配備了全鏡頭光學器件和高光強度，可以對掩模和晶片進行高分辨率成像。3A的設計考慮了最具挑戰性的工藝需求,能夠檢查全景,掃描高達25 nm的特征尺寸。NIKON 3A單元由一個包含晶圓或掩模旋轉級的電動模塊和一個獨特的4象限光學機器組成。該光學工具的設計旨在優化光強度和對比度,從而實現圖像質量和缺陷檢測方面的最高性能。高靈敏度和對比度是用低波紋光度法實現的，這種光度法允許操作員設置檢測閾值，並針對各種批次類型自動調整，便於調整檢測經驗。成像方面，3A資產用途廣泛；它可以配置為檢查反射和透射面罩和晶片。有幾種成像模式，包括明場、暗場、模擬明場和斜離軸照明。它還能夠識別和檢查1D、2D和3D形狀的缺陷。NIKON 3A模型的用戶友好界面甚至允許新手用戶利用高級特征檢測功能。直觀、用戶友好的界面也讓用戶很容易根據自己的特定需求定制檢測設備。此外，3A系統集成了自動模式識別和識別算法，快速識別和分類缺陷的形狀和大小。總體而言，NIKON 3A是一個獨特的檢查單位，設計用於對面膜和晶片進行高效和非常詳細的檢查。3A具有高光強、全鏡頭成像、可調檢測閾值、成像模式和自動模式識別分級算法，是掩模和晶圓檢測分析的理想機器。