二手 NIKON AMI-3300 #293670595 待售

NIKON AMI-3300是提供快速、高分辨率檢測的全自動掩模和晶圓檢測設備。AMI-3300配有400毫米遠心物鏡和16位CCD相機,提供高分辨率成像,能夠精確檢查掩模和晶片表面。該系統的可調放大倍率、工作距離和視場提供了快速準確地檢查包括標線、掩模、微結構和晶片在內的各種樣品的能力。NIKON AMI-3300的500 mm X-Y級提供全樣本覆蓋,具有閉環、高分辨率納米級定位和可重復性。此外，AMI-3300還配備了自動化聚焦子階段，在工作距離和視野方面提供快速準確的變化，以適應不同的樣品。NIKON AMI-3300的軟件在測量焦點位置以實現最佳焦點捕獲的同時,自動對掩模或晶片執行所有必需的焦點調整。AMI-3300包括一個綜合缺陷測量單元，它提供了檢測、分類和量化各種缺陷的能力。機器的自動邊緣檢測、基於顏色的邊緣檢測和模式識別技術用於檢測任何缺陷,如線邊、線寬、線距、平整度、叠加精度、過程不對齊、泄漏和叠加。此外,還使用該工具的自動邊緣校正功能來檢測由於光刻針刺而剩余的任何邊緣步進,從而生成成功的設備縮放所需的精確和精確的邊緣清晰度。NIKON AMI-3300具有直觀的用戶界面和軟件,可輕松設置和操作資產。大型21.3英寸液晶彩色顯示器能夠快速瀏覽型號的菜單和操作,而USB和網絡端口則可以快速簡單地連接任何外部存儲設備。設備還包括自動作業執行和計劃作業執行功能,使用戶能夠規劃和保存測量作業以供以後使用。總體而言，AMI-3300是一種高分辨率的掩模和晶圓檢測系統，提供了可靠可靠的檢測能力。NIKON AMI-3300具有可調放大倍率、對焦子級、大X-Y級、自動化缺陷測量功能，是精確掩模和晶圓檢測的強大解決方案。