二手 NIKON NRM-3100 #9386878 待售

NIKON NRM-3100是為經濟的高分辨率表面檢測而設計的最先進的掩模和晶圓檢測設備。通過將反射光學系統設計與強大的光學設備和攝像頭選項相結合,NRM-3100可以在高達12英寸的大視野中實現高分辨率成像。該設備可以檢查在面膜和晶片生產中常見的各種關鍵地形特征以及人眼看不見的詳細缺陷。NIKON NRM-3100配備了先進的光學器件和電動級，便於對大樣品進行精確成像。光學機器由寬帶光源、鏡頭和高分辨率攝像機組成，這些攝像機通過徑向臂安裝在可調Z軸級上。徑向臂便於調整和調整光學工具與目標樣品。此外,自動聚焦機構可縮短測量設置時間,並確保在檢查的每一階段都實現最高分辨率的成像。NRM-3100將亮場、暗場和Koehler照明技術與LED和衍射光柵照明源相結合,為晶圓和掩模檢查提供了一種通用的圖像捕獲方法。這種照明源的組合增強了信噪比，並允許更準確地檢測即使是最具挑戰性的缺陷。此外,多波長技術允許資產以高靈敏度測量各種缺陷類型,而無需物理濾波器。先進的無區域光學器件和多鏡頭成像還確保對每個檢查點進行精確的深度測量，以便準確識別和定位樣品上凸起的缺陷特征。NIKON NRM-3100還配備了獨一無二的雙視圖光學模型，允許它從兩個不同角度拍攝同一個檢查站的多張圖像，以便過濾出虛假警報。NRM-3100利用強大而靈活的檢查軟件包分析檢查結果。此高級軟件使掩碼和晶片工程師能夠快速準確地識別潛在缺陷,並提供了廣泛的過濾選項來對缺陷進行分類,從而確保準確的缺陷計數。總之，NIKON NRM-3100是一種功能強大、成本效益高的掩模和晶圓檢測設備，能夠準確可靠地對大樣品進行高分辨率成像。通過結合先進的光學和成像技術，NRM-3100確保即使在檢查具有挑戰性的樣品時也能進行最高質量的檢查。