二手 NIKON NRM-3100 #9401530 待售

ID: 9401530
晶圓大小: 12"
Overlay measurement system, 12".
NIKON NRM-3100是為最苛刻的半導體生產和研究環境設計的先進的掩模和晶圓檢測設備。該系統旨在幫助制造商在整個生產過程中最大限度地提高產量和性能,從而能夠快速準確地檢測缺陷。NRM-3100利用先進的光學設備、高分辨率相機和先進的掃描參數來實現卓越的性能。成像光學器件的視場大小從8.5毫米到29.7毫米不等,使其能夠對高細節水平的大面積進行成像。該相機還具有較大的像素計數,從而實現了更高的成像精度。此外,該單元還支持高達10倍的縮放功能,從而實現更高的精度。機器的掃描參數是非常可定制的,允許用戶定制單個掃描以適應手頭任務的要求。例如,它允許用戶在單個或雙狹縫掃描之間進行選擇,選擇線路密度,並調整狹縫大小和深度。此級別的自定義使工具適合各種任務,從對特定對象的一般概述到對小區域的詳細分析。NIKON NRM-3100資產設計用於各種晶圓、晶圓持有者和舞臺支架。它能夠支撐各種標本大小和形狀,如圓形物體,以及矩形和方形標本。該型號還提供了多種放大幅度,從0.16 µm到2000µm。NRM-3100設備效率高,可以進行高速缺陷檢測。它專為用戶友好而設計,具有直觀的圖形用戶界面(GUI)和全面的自動增益功能等功能。它還包括一個全面的缺陷審查過程,使缺陷審查和分析更加容易。為確保最大性能,NIKON NRM-3100系統得到了全面的服務和支持包的支持。這包括定期維護、故障排除和校準服務,以及軟件更新。這有助於確保設備在其整個生命周期內保持可靠和高效。綜上所述,NRM-3100是一個功能強大,用戶友好的面膜和晶片檢測機設計的最大性能和可靠性。其先進的光學設備、可定制的掃描參數以及全面的服務和支持包使其成為各種生產和研究環境的理想工具。
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