二手 NIKON NRM-3100 #9401531 待售

ID: 9401531
晶圓大小: 12"
Overlay measurement system, 12".
NIKON NRM-3100是一種高度精確的掩模和晶圓檢測設備,設計用於檢測異常精確的缺陷。它具有高靈敏度、高分辨率的微光刻系統,能夠解決納米級缺陷。該裝置的分辨率為50納米,納米過度曝光的探測動力為4,500:1,高吞吐量率高達每小時4,500晶圓。NRM-3100既可用於標線檢查,也可用於晶圓檢查,其可擴展平臺可用於檢測同一設備上的大小模式。NIKON NRM-3100具有內置的自動操作機(AOS),可加速掩模/晶圓檢查過程,並最大限度地縮短完成所需的時間。它通過使用自動模式識別、缺陷識別和分析,在幾分鐘內給出全面的檢測結果。高度精確、高速的模式、值和缺陷自動測量使用戶能夠快速識別和修復任何問題。NRM-3100先進的光學工具利用自動聚焦圖像采集資產和可編程的機動化級,在整個檢查過程中對準確性和速度提供了出色的控制。該模型的出色視場設計旨在為操作員提供確定晶圓之間差異的優化經驗。NIKON NRM-3100還具有直觀的圖形用戶界面(GUI)以簡化用戶與設備的交互。這種用戶友好的界面使操作員能夠快速輕松地查看和修改系統設置,從而實現快速周轉性能。此外,NRM-3100是唯一一個配備了NIKON非接觸式靜態缺陷測量模塊的單元,它精確地測量和記錄來自晶圓邊緣的靜態缺陷。總體而言,NIKON NRM-3100是一種先進的掩模和晶圓檢測機,能夠提供詳細的結果.它配備了高端的Mini-Lithography工具,並提供高分辨率的檢查來檢測最小的缺陷,結合支持自動化操作來更快地完成工作。此外,方便的圖形用戶界面和靜態缺陷測量模塊使NRM-3100成為精確、可靠和經濟高效的晶圓檢測的理想選擇。
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