二手 NIKON Optistation 3 #293594406 待售
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ID: 293594406
晶圓大小: 8"
優質的: 1998
Wafer inspection system, 8"
(5) Objectives
Turret
Power unit box
1998 vintage.
NIKON Optistation 3是一種綜合性的掩模和晶片檢測設備，設計用於在半導體制造過程中對抗蝕劑、濺射膜、光刻工藝和晶片進行高效可靠的檢測。它采用模塊化設計,支持內聯和離線配置,以及多種掩碼和晶圓類型。NIKON OPTISTATION-3系統的核心是其高功率光學單元，具有先進的光頭和四個成像級別。該光學器件采用NIKON先進的寬帶多段LED照明和高達5倍的光學變焦。它能夠檢查多達16 「x 20」的蒙版或晶圓視場,並且可以在單次曝光時檢測到高達0.2 μ m的特征。它還具有先進的軟件技術,例如快速的圖像處理和分析,以及自動化的過程控制,從而可以更快、更準確地進行檢查。其高速圖像捕獲和3D空間圖像關聯（SIC）技術消除了誤報，而其模式匹配技術（PMT）則確保了可重復結果。Optistation 3還包括一套審查和日誌記錄工具,可支持實驗室和在線檢查需求。它可以提供跨多個掩碼圖像以及跨多個晶圓層的比較數據相關性。它還具有一個綜合數據庫，可以快速檢索和存儲檢查結果。該機符合SEMI規範，旨在提高周轉時間，降低成本。它廣泛的兼容性使其能夠與其他工廠自動化過程集成，如GDSII文件流和設計布局比較。最後,直觀的用戶界面和全面的文檔使OPTISTATION-3易於使用和操作。綜上所述，NIKON Optistation 3是一款功能強大、靈活可靠的掩模和晶圓檢測工具，提供卓越的準確性和可重復性。它擁有高功率的光學資產、先進的軟件技術以及一套審查和記錄工具,使它能夠滿足多種半導體制造要求。此外,它符合SEMI規範、廣泛的兼容性和用戶友好的界面,使其成為滿足各種掩模和晶圓檢測需求的合適解決方案。
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