二手 NIKON Optistation 3 #62571 待售

NIKON Optistation 3
ID: 62571
晶圓大小: 6"
Automatic wafer inspection stations, 6".
NIKON Optistation 3是為高通量和高分辨率半導體型式檢測和計量設計的集成掩模和晶圓檢測設備。該系統用於生產和研究應用,如自動臨界尺寸(CD)測量、光學缺陷審查(ODR)和叠加測量。NIKON OPTISTATION-3的先進光學器件提供的高分辨率圖像具有小於1 Angstrom/µm的景深和在所有波長下低於2%的線性度。該單元產生令人驚嘆的高對比度圖像,方便優秀的模式和缺陷審查與準確的判斷。ODR應用程序允許操作員以非常高的精度檢查晶片是否存在匹配錯誤和模式缺陷。它還提供了暗場光學反轉圖像,幫助區分圖樣缺陷和隨機粒子缺陷。該機采用雙級自動化舞臺處理工具,相對於遠距離目標和特定位置精確、可重復、快速定位模式。該資產還采用了自動晶圓居中模式,使晶圓能夠快速、方便地居中進行檢查或計量。集成控制器利用高度定制和直觀的用戶界面,使用戶能夠更快地設置檢查和計量任務。控制器還具有高級調試功能和模型記錄功能,允許用戶快速高效地排除錯誤。該設備能夠與其他供應商的內聯工具集成,從而實現快速、高效和無縫的結果。在全天候提供支持的情況下,客戶滿意度和高質量的結果得到保證。Optistation 3是生產環境中半導體模式檢測和計量的基本工具。其先進的特性,如高度可靠的光學、自動化晶片定心和雙級,使其成為任何半導體工藝生產線的必備系統。有了OPTISTATION-3,半導體工程師可以放心,無論應用是什麼,他們都會取得最好的成績。
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