二手 NIKON Optistation 3000 #9269043 待售

NIKON Optistation 3000
ID: 9269043
Inspection system Wafer handler (Semi-auto).
NIKON Optistation 3000是一種高分辨率的掩模和晶圓檢測設備。該系統為集成電路、晶圓和掩碼提供詳細的分析和缺陷檢測。它設計用於在短短幾秒鐘內檢測亞微米缺陷和小針孔和劃痕,允許缺陷檢測項目的周轉時間短。這一單元采用了強大而專業的光學器件,包括一臺先進的400毫米x 400毫米遠心衍射光學機器,它提供了擴大的視野和高水平的失真校正。光學器件提供了從樣本中有效傳輸信息的方法,確保了準確可靠的圖像捕獲。此外,遠心光學還提供了可調色差校正,提供卓越的圖像質量在整個框架。Optistation 3000利用一種光源,產生可變的光譜,包括紫外線、可見光和紅外波長。這樣可以對晶片、掩碼和集成電路進行多頻段成像,使用戶能夠識別和分析各種缺陷。另外,光源還允許偏振成像,用於揭示在正常照明下不可見的缺陷。該工具配備了3百萬像素的CMOS彩色相機,信噪比極佳,動態範圍非常廣泛。這樣,即使是細膩的細節也能以極好的清晰度快速捕捉到。此外,它的可調集成時間可實現低噪聲成像。NIKON Optistation 3000實現了整個檢查過程的全面自動化,使操作員能夠集中精力進行缺陷識別和分析。該資產是滿足時間敏感缺陷分析和掩碼晶圓檢測需求的理想解決方案。其強大的光學、多頻段成像和可調節的集成時間使其成為精密工程中的寶貴工具。
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