二手 NIKON Optistation 3000 #9372005 待售

NIKON Optistation 3000是為下一代半導體產品的高精度、高通量生產而設計的全自動掩模和晶圓檢測設備。該系統有一個先進的光學成像單元，包括高性能的目標，以及可見和紅外敏感的光電傳感器。Optistation 3000利用獨特的過程控制機、精確定位和自動邊緣查找算法,確保了晶片和掩模的精確、高速自動檢查。NIKON Optistation 3000的核心是精確的3D掃描工具和高級軟件算法。Optistation 3000利用大直徑物鏡、高性能定位器和高級軟件例程,能夠檢測和測量廣域缺陷,以及按納米尺度排列的極小局部缺陷。使用2D和3D Edge Find（包括Edge Searcher）時,NIKON Optistation 3000會自動定位晶圓或掩碼的邊緣,並相應地執行檢查路徑。Optistation 3000裝有獨特的定制偏振模塊，允許精確的光學特性、測量和缺陷檢測。同樣，資產配備了綜合聚焦跟蹤模型，能夠根據檢測到的樣品表面垂直高度差不斷監測和調整聚焦。NIKON Optistation 3000還通過其復雜的審計跟蹤庫提供了全面的可追蹤性,該庫存儲和記錄詳細的檢查結果、生產、工藝、操作員和批量ID信息。此外,該設備還提供了一個可選的高質量線性測量包,用於檢查樣品叠加圖,以及檢查OSML掩模焦點值。綜上所述,Optistation 3000是一個功能強大、可靠的自動掩模和晶圓檢測系統,適用於高精度、高通量的生產環境。NIKON Optistation 3000具有大直徑物鏡、先進的光學成像和偏振單元以及獨特的過程控制算法,可提供精確可靠的性能。