二手 NIKON Optistation 3100 #293587009 待售

NIKON Optistation 3100是用於亞微米技術的高精度、自動化的掩模和晶圓檢測設備。該系統具有較大的工作區域、精確的旋轉級以及各種可選的質量保證支持。它旨在滿足IC制造商、半導體設計公司和測試/檢驗實驗室的要求。NIKON OPTISTATION-3100采用先進的照明和成像技術,能夠以極高的精度檢查晶片和掩模,從而確保滿足最嚴格的設備和組件要求。Optistation 3100結合了一臺高分辨率的長工作距離計量顯微鏡，總共有8個運動軸，使其能夠在二維和三維設置中檢查廣泛的掩模和晶圓圖樣。它具有0.005mm的掃描分辨率，最大視野為200 mm x 200 mm。連同其強大的照明引擎，運動階段能夠做出精確和可重復的運動，使其能夠精確測量面罩幾何形狀和邊緣輪廓到亞微米級。OPTISTATION-3100由NIKON創新成像和分析軟件控制。該設備能夠使用清晰、高分辨率的圖像可視化幾乎任何類型的缺陷。此外,它還具有強大的分析工具,包括諸如叠加、臨界尺寸、缺陷審查、自動校正、配準和多個測量功能等變量。這允許用戶將圖像分類和分類到不同的組或類型中,有效或自動針對感興趣的區域,並對通過/失敗標準做出自動決策。除了成像功能外,NIKON Optistation 3100還包括一系列高級特征測試和模式模擬過程。可檢測錯位交叉口、懸挑、邊緣損耗、迷宮等各類缺陷。機器還可以根據預定義的規則模擬/模型模式，這些規則可以用作進一步比較的參考模式。NIKON OPTISTATION-3100還配備了自動對準工具，以確保準確的後續檢查。直觀的用戶界面和通用的校準方法進一步簡化了設置、傳輸和操作。總之，Optistation 3100是高精度掩模和晶圓檢測的理想選擇。憑借其最先進的成像和分析能力，確保了可靠的缺陷檢測和設備一致性。