二手 NIKON Optistation 3A #293821817 待售

ID: 293821817
晶圓大小: 8"
Wafer Inspection system, 8".
NIKON Optistation 3A是一款高精度、尖端的掩模和晶圓檢測設備。它專為可靠性、準確性和持續時間而設計,為所有類型的光掩模和晶圓應用程序提供了一整套檢查功能。它通過直觀直觀的圖形用戶界面(GUI)提供自動化、用戶友好的檢查。它包括用於掩模缺陷識別和精細圖樣檢測的高分辨率成像功能,以及二維(2D)和三維(3D)晶圓表面測量等功能。NIKON OPTISTATION 3 A具有先進的光束輸送系統,可提高穩定性和準確性。集成的自動光學對準和自動對焦系統縮短了設置時間,並提高了圖像的準確性。該裝置還設有一個氮氣凈化室,可防止由於環境因素引起的光能色散和圖像漂移。該機具有多種成像技術,可監控面罩圖樣的保真度、缺陷和低至0.5微米的變形。它提供了對各種模式的自動化全局檢查,包括接觸孔、邏輯門、電路和特定區域。此外,數據比較軟件可確保精確測量並檢測光掩碼中的差異。該工具最多可存儲10種檢查配方,並且顯微鏡具有自動對焦功能,因此無需為每個掩模進行手動對焦設置。借助集成的無縫配方更改支持,Optistation 3A提供了不到45秒的快速晶圓更改時間。總體而言,OPTISTATION 3A是一種先進可靠的掩模和晶圓檢測資產,具有先進的成像能力。NIKON Optistation 3A具有用戶友好的界面、集成的光束傳遞模型和先進的圖像識別軟件,是自動掩碼和晶圓檢測應用的理想解決方案。
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