二手 NIKON Optistation 3A #9115822 待售

ID: 9115822
Inspection systems.
NIKON Optistation 3A是一種強大的掩模和晶片檢驗設備,旨在使制造商能夠識別晶片和掩模中的產量限制缺陷。它是一個結合了一系列技術的設備系統,包括高倍率光學顯微鏡、最先進的數字成像單元、高度精確的運動控制機器以及先進的缺陷檢測和識別軟件程序。NIKON OPTISTATION 3A的顯微鏡工具采用了6:1變焦比的縱向變焦方法,使用戶能夠從亞微米到納米分辨率查看晶片和掩碼。顯微鏡光學可以調整以提供最大亮度和應用靈活性。資產還允許放大0.3X到8500X的範圍。光學成像模型使用高分辨率相機以高達1300萬像素的分辨率捕捉樣品的詳細圖像。Optistation 3A的運動控制設備由三軸XYZ運動級和步進電機組成,用於精確的步進和重復操作。它可以執行具有挑戰性的自動化操作,如全場多點測量、模式化檢查和焦點調整。該系統使用戶能夠快速準確地控制光學元件的運動。OPTISTATION 3A還包括一個高級缺陷審查軟件程序。該程序支持模式匹配和基於神經網絡的缺陷檢測。它還提供了有關檢測到的缺陷(如類型、大小、位置和其他特征)的詳細信息。此外,還可用於進行詳細的統計分析,以確保過程質量。總體而言,NIKON Optistation 3A是一個高度先進的掩模和晶圓檢驗單元,允許對樣品進行高度詳細、精確和快速的檢驗。它融合了一系列技術,以保證高精度的檢測和卓越的圖像質量。此外,其先進的缺陷檢測和審查軟件提供了快速可靠的缺陷識別和質量過程性能的詳細分析。
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