二手 NIKON Optistation 3A #9147680 待售

NIKON Optistation 3A
ID: 9147680
Wafer inspection system.
NIKON Optistation 3A是一種先進的掩模和晶圓檢驗設備,旨在幫助改善工藝控制和降低生產成本。它是一種高通量、高精度的光學檢測系統,采用先進的CCD成像技術在亞微米級檢測掩模和晶圓圖樣。NIKON OPTISTATION 3A能夠快速準確地檢查各種半導體器件圖樣,包括小至0.25 µm的不規則和多邊形圖樣。Optistation 3A采用雙級高精度成像單元,由CCD成像階段和RGB成像階段兩個階段組成。CCD成像階段以亞微米精度測量圖案邊緣、形狀和線寬。它還允許從實際芯片模式和掩碼模式之間的叠加檢測缺陷。RGB成像階段用於檢測實際芯片模式和掩模模式之間的任何顏色差異,如天然氧化物。OPTISTATION 3 A的軟件具有直觀的交互式用戶界面,可輕松配置和控制機器的各種設置和功能。內置模式識別和掩碼分析工具有助於快速檢測晶圓模式中的缺陷。該軟件還包括全面的掩蔽模式和叠加測量、快速缺陷識別以及各種設備/掩蔽模式比較功能。NIKON Optistation 3A附有多種有助於確保最高質量檢測結果的高級功能,包括先進的模式檢測算法、高精度校準和對準系統、多種成像校正功能以及強大的圖像識別引擎。該工具還提供了一系列圖像配置,以適應不同的應用程序要求。該資產為檢查半導體行業中的掩模和晶片提供了可靠、經濟高效的解決方案。它提供了可靠、準確的審核結果、更快的處理速度和改進的過程控制。NIKON OPTISTATION 3A是提高半導體器件制造生產力和效率的理想解決方案。
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