二手 NIKON Optistation VII #293592368 待售
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ID: 293592368
Wafer defect inspection system, 12"
(2) FOUP Front end load ports
ASYST ISO Port FL300 with mapper and RF ID
ULPA Filtration system
Air suspension vibration isolation table
Standard microscope unit with automated control
Eyepieces: 10x
Objective lens: 2.5x
0.075 W.D. 8.8 mm
10x N.A. 0.300 W.D. 6.50 mm
20x N.A. 0.460 W.D. 3.10 mm
50x N.A. 0.900 W.D 0.42 mm
150x N.A. 0.900 W D.0.29 mm
Halogen lamp house: 12 V, 100 W
Robot controller
Ceramic robot arm
Macro unit A:
Wafer chuck
Macro movable unit
Slider assembly
Macro unit B:
Arched holder
Rotation unit assembly
Micro stage unit
XY Stage / Chuck
XYZ Drive unit
DART Controller: Image archiving and defect review
LCD Display
Keyboard / Trackball
Image capture board:
Integral technologies video card
SONY DXC- 9XX/MD Camera.
NIKON Optistation VII是一種靈活、高通量的掩模和晶片檢查設備，可提供對掩模和晶片的快速和自動檢查。該系統在缺陷檢測方面提供了卓越的精度，能夠檢測小至0.2至0.8微米的模式。它還為檢查各種不同的材料提供了廣泛的多功能性，包括光掩模、光刻面膜和晶片。該單元使用高速氙氣頻閃光源來照射樣品，使用CCD相機來捕捉圖像。成像機可以檢測到亞微米的差異以及遠遠超出可見光光譜的信號，這使得工具能夠精確檢查缺陷和亞微微結構。其4K像素CCD陣列支持極精細的檢測分辨率，資產具有5倍至2500倍的強大放大能力。該型號有一個大的12 x 12英寸的檢查區域,使其能夠快速且無破壞性地覆蓋材料的密集區域。其恒定的深度聚焦確保了整個過程的高精度和一致性,因此圖像始終清晰清晰。此外，在不需要人力參與的情況下，設備可以進行自動掃描和分析而不會中斷。此外,Optistation VII還配備了用於自動特征檢查的高級軟件。它具有強大的缺陷檢測引擎，用於檢測顆粒、缺陷、微小缺陷和不規則性。該軟件還配備了強大的編程功能，使用戶能夠創建自動序列來檢查多種類型的特征。NIKON Optistation VII旨在提供對口罩和晶片的自動化、可靠和高精度的檢查。具有廣泛的多功能性、先進的軟件功能和卓越的精確度，這對於需要高度精確度的檢測應用來說是一個理想的選擇。
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