二手 NIKON Optistation VII #293645159 待售

NIKON Optistation VII
ID: 293645159
Automatic wafer pattern inspector.
NIKON Optistation VII是一款先進的面罩和晶圓檢測設備,設計用於滿足大批量制造的需求。該系統采用兩個高分辨率探測器,在單個設備中同時進行晶片和掩模檢查。它支持晶片各層的光學缺陷檢查,包括正面、背面和覆蓋層,以及掩模缺陷。其先進的光子計數檢測器技術允許卓越的分辨率,使其能夠檢測小缺陷並產生無缺陷的掩模。Optistation VII為任何給定的檢查任務部署了四種不同的光學系統,包括亮場、相差檢測器(PAD)、相移缺陷(PSD)和相移相機(PSC)模式。亮場單元使用透射可見光,使操作員能夠快速準確地識別和分析缺陷。PAD機利用近場光學顯微鏡檢測相位發展,使醫師能夠查明和糾正相位異常。PSD工具使用密閉光子控制來精確測量檢查期間的相移,而PSC資產則收集相位數據並將其分配給物體或表面積測量。此外,該模型還提供了幾種專門為掩模圖案和晶圓制造量身定制的先進檢驗技術。自動對焦(AF)功能自動調整顯微鏡物鏡設置,以確保盡可能高的圖像質量。混合脈沖相位技術進一步輔助AF光學聚焦,而垂直校正技術則確保邊緣非常精確地垂直於焦點設置。Splitting Focus技術允許視場中的點以不同的方式聚焦,從而提供更清晰的圖像。NIKON Optistation VII是一種高度通用的設備,它可以使用腳本管理系統自動執行檢查任務並確保高吞吐量,從而擴展到完整的生產環境。它還配備了符合人體工程學的S-VGA顯示器以顯示實時檢查結果,以及直觀的GUI以方便操作。此外,該單元還具有雙重圖像查看模式,該模式覆蓋從兩個探測器拍攝的圖像,使檢查更加容易。Optistation VII是一款可靠、功能強大的掩模和晶圓檢測機,具有極大的靈活性和一系列先進技術。它是大批量制造的絕佳選擇,因為其強大的設計和多用途的特性可確保任何給定的檢查任務都能獲得準確可靠的結果。
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