二手 NIKON Optistation VII #293652861 待售

ID: 293652861
Wafer inspection system.
NIKON Optistation VII是專門為滿足半導體和液晶行業光刻作業需要而設計的掩模和晶圓檢測設備。Optistation VII提供多光束、多通道、多種照明類型的解決方案。這樣可以同時檢查多達16個不同的遮罩層和/或從一個遮罩基板進行多次拍攝。NIKON提供了各種工具,例如劑量敏感度、焦點敏感度和特殊投影,用於處理仍然更嚴格的面罩檢查。NIKON Optistation VII也提供了先進的檢測系統。其分辨率能力超過了傳統的圖像處理系統,允許在不使用專門算法的情況下快速識別關鍵缺陷。其專有的AFM(Adaptive Fault Map)功能,即使是極低對比度的遮罩基板上也能檢測到停滯和零星的缺陷。Optistation VII的高速以太網通信電路有助於將數據和圖像從設備傳輸到後端進程。這使工程師能夠評估缺陷數據並快速做出決策。此功能的另一個好處是允許兩個操作員共享計算機,從而降低成本並簡化操作。該工具具有先進的對齊資產-NIKON OAS(正交對齊模型)-通過自動調整設備參數以匹配基板來簡化操作過程。這樣可以最大程度地減少兩次檢查之間的設置時間,並在最具挑戰性的檢查環境中實現快速對齊。該系統旨在提供一個穩定可靠的平臺,同時達到質量和安全的最高標準。它經過UL、CE和CSA認證,並配有廣泛的軟件和硬件接口,以確保平穩運行和工作流程。NIKON Optistation VII在最惡劣的環境中提供經濟高效的檢查解決方案。該單元的集成環境控制確保了機器的安全、可靠和低維護。Optistation VII通過其先進的檢測工具和簡化的自動化操作,提供了最高質量的結果,最大限度地提高了吞吐量並縮短了實現結果的時間。
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