二手 NIKON Optistation VII #9171873 待售
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單擊可縮放
ID: 9171873
晶圓大小: 12"
Wafer defect inspection system, 12", parts machine
(2) FOUP Front end load ports
ASYST ISO port FL300 with mapper and RF ID
ULPA Filtration system
Air suspension vibration isolation table
Standard microscope unit with automated control
Eyepieces: 10x
Objective lens: 2.5x
0.075 W.D. 8.8 mm
10x N.A. 0.300 W.D. 6.50 mm
20x N.A. 0.460 W.D. 3.10 mm
50x N.A. 0.900 W.D 0.42 mm
15x N.A. 0.900 W D.0.29 mm
Halogen lamp house: 12 V, 100 W
Robot controller
Ceramic robot arm
Macro unit A:
Wafer chuck
Macro movable unit
Slider assembly
Macro unit B:
Arched holder
Rotation unit assembly
Micro stage unit
XY Stage / Chuck
XYZ Drive unit
DART Controller: Image archiving and defect review
LCD Display
Keyboard / Trackball
Image capture board:
Integral technologies video card
SONY Camera: DXC- 9XX/MD
Includes:
Robot
Sensor ARM
Power supply
Magnetic track
Controller.
NIKON Optistation VII是一種綜合先進的面膜晶片檢測設備.它具有具有多個成像平臺的高亮度圖像傳感器，非常適合各種檢查任務。該系統特別適合於晶片光刻和掩模檢測中微小缺陷的精確識別。該裝置裝有四色CCD傳感器,能夠捕獲分辨率高達傳統掩碼和晶圓檢測系統10倍的彩色圖像。它還結合了內置的DLP投影技術，提供出色的亮度、分辨率、飽和度和動態範圍。DLP技術還提供了無與倫比的一致性和一致性,因此其圖像質量優於傳統系統。Optistation VII還具有最先進的光學元件,可清晰清晰地成像。它利用先進的波前傳感和校正技術來消除光學像差。這確保了一個超銳利的光學機器，能夠檢測非常精細的特征在晶圓和掩模檢查。該工具包括一整套圖像處理和分析工具，如自動對齊、缺陷審查、模式匹配和動態圖像增強。圖像處理和分析工具可用於識別和分析晶圓和掩模檢測中的缺陷。此外，NIKON Optistation VII還包括自動對焦、3D縫合、高級圖像處理算法等多項其他高級功能。資產還具有集成的統計生成功能,能夠對每次檢查運行的結果進行詳細分析。Optistation VII是用於掩模和晶圓檢測應用的理想解決方案,提供卓越的性能和可靠性。它是晶圓和光刻制造中各種元件檢測分析的有效模型。
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